喝了一口后,接着说道:“有了掩模基板,然后再用光刻机,将光源通过掩模基板投影到晶圆上。
而光刻机的生产,那就更难了,首先我们需要得到波长13.5纳米的极紫外光源。
极紫外光源又因为波长短,容易被其他物质吸收,无法像可见光或者深紫外光那样通过透镜来聚焦,所以还需要通过多层反射镜来聚焦。
这个反射镜又得用纳米级的钼、硅交替堆叠几十层!
解决了反射镜,后面还需要高度精密的机械控制系统,来控制掩模台和晶圆台,这也是纳米级的精度!
之后,还有生产环境。
光刻机内需要超高度的真空,同时因为极紫外光,我们那儿用的是高功率二氧化碳激光轰击锡滴,但是锡滴的残留物会污染反射镜,所以就需要开发实施清理技术。
蚀刻完了之后,还需要注入离子,改变半导体的导电特性,之后还要用气相沉积法,在硅晶圆上沉积铜膜,然后才是纳米级的打磨抛光。
一套流程重复几十次,就得到指甲盖大的核心处理器了。”
全场寂静。
大家齐齐看向了旁边的那台晶体管计算机,这是他们徒手用螺丝刀和电焊笔造的。
现在就感觉,之前看着十分喜爱的大柜子,怎么越看越不顺眼?
看着大家的表情,王嘉恩以为是打击到他们的积极性了,便连忙说道:“这个不着急,咱们慢慢来,先搞定晶体管小型化,做出集成电路再说。
进一步缩小计算机体积之后,我们各个单位,包括行政单位,能大大提高办公效率。
咱们得把底子打扎实喽,计算机,是下一次工业革命的催化剂,可千万不能有底蕴不足的情况,所以,慢慢来就好!”
一听这话,一众研究员相互看了一眼,紧跟着一哄而散。
“我搞定大直径硅晶圆!”
“二氧化碳激光轰击锡滴是吧?我就不信我们的光电所搞不出来!”
“我们搞定金属粒子气相沉积!”
“我试试看那个钼硅反射镜怎么弄!”
“高精度机械部件就交给我们了!”
所有人一哄而散,束院长都走了,刚才说要弄极紫外光的就是他。
没多久,现场就剩一个华院长。
王嘉恩一脸懵逼,看着华院长眨了眨眼:“这什么情况?”
华院长无奈笑笑:“本来一个个都有点儿魔怔,你这一说,那不是火上浇油吗?”
老王咂吧着嘴,看着门口,这会儿最后一位白大褂也出门了。
他也只好无奈笑道:“也好,微型芯片的研发,涵盖了很多领域,单是光刻机就涉及了20多个,能够加快其他子领域的进度。
不过您也得看着点,研发这一套设备的投入可不是一笔小数目,我的建议还是稳扎稳打,各个子项目分开研究。
等所有技术成熟,光刻机也就水到渠成。”
“放心吧,他们都有数的。”
这时,边上的欧立新拿着小本本凑了过来。
“老王,你刚才说,什么光轰击什么滴来着?”
“你只要记下,大力支持半导体工业,就行了。”
“噢噢!”
老王又想起什么,看向华院长:“您怎么会在工院,之前不是在科院吗?”
华院长笑笑:“科院那边数学高手有,老钱、老陈、老苏、老关他们,不比我差。
工院这边就相对少一些,我被调过来当修补匠,那边有什么难题需要集思广益,我再过去帮忙探讨。”
“哟,那您辛苦。”老王奉承了一句,随即又想起什么,“哎对了,特斯拉那老头儿呢?”
华院长竖起拇指指了指外面:“不是说给他单独开个研究室吗,这会儿估计正忙活呢。
说起这老爷子,还真帮了不少忙,之前一直困扰老束的电磁压制技术的功率放大器,他没几天就给解决了。”
“那是人家强项嘛,走,看看他去。”